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[实用新型]质量块-CN201220316156.7有效
发明人：屠良高 -专利权人：平湖市海特合金有限公司
申请日： 2012-07-03 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： H02K7/06 文献下载
摘要：一种质量块，包括本体，呈T型结构，由顶面、底面，上平面、下平面、左侧面和右侧面合围而成，其顶面为弧形，左侧面为向右凹陷的弧形，右侧面为向左凹陷的弧形。加重层，设于近顶面的下平面上。本实用新型提供的质量块，显著降低了质量块的厚度和重量，采用加重层的方式保持较高的振动性能。
质量

[发明专利]一种传感器的预紧结构及组装方法-CN201910012646.4在审
发明人：谢若泽;陈成军;李尚昆 -专利权人：中国工程物理研究院总体工程研究所
申请日： 2019-01-07 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： G01D11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种传感器的预紧结构及组装方法，涉及传感器制造和使用领域，包括上质量块、下质量块、盖板和螺杆，螺杆依次穿过上质量块、传感器和下质量块，上质量块、下质量块及传感器保持同轴，螺杆的上端和下端分别与上质量块和下质量块固定连接，传感器的两端分别与上质量块的下端和下质量块的上端挤压接触；组装方法包括以下步骤：依次将下质量块、传感器、上质量块叠放；将螺杆从上到下依次穿过上质量块、传感器和下质量块；将螺杆与上质量块和下质量块固定连接；通过上质量块、下质量块为传感器施加预紧力，结构简单，安装方便，不仅保证了传感器的正常使用，还扩大了传感器的适用范围，即使是柱状杆件穿过传感器的测试也可以正常使用。
传感器上质量块下质量块螺杆预紧结构组装上端穿过下端传感器制造安装方便从上到下挤压接触柱状杆件预紧力盖板叠放同轴施加测试保证

[实用新型]一种传感器的预紧结构-CN201920020005.9有效
发明人：谢若泽;陈成军;李尚昆 -专利权人：中国工程物理研究院总体工程研究所
申请日： 2019-01-07 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： G01D11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种传感器的预紧结构，涉及传感器制造和使用领域，包括上质量块、下质量块、盖板和螺杆，螺杆依次穿过上质量块、传感器和下质量块，上质量块、下质量块及传感器保持同轴，螺杆的上端和下端分别与上质量块和下质量块固定连接，传感器的两端分别与上质量块的下端和下质量块的上端挤压接触；将螺杆与上质量块和下质量块固定连接；通过上质量块、下质量块为传感器施加预紧力，结构简单，安装方便，不仅保证了传感器的正常使用，还扩大了传感器的适用范围
传感器上质量块下质量块螺杆预紧结构上端下端穿过本实用新型传感器制造安装方便挤压接触柱状杆件盖板预紧力同轴测试施加保证

[发明专利]一种MEMS陀螺仪-CN201610891762.4有效
发明人：李航;于连忠;胡宗达 -专利权人：中国科学院地质与地球物理研究所
申请日： 2016-10-12 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种MEMS陀螺仪，包括上盖板、测量体以及下盖板，所述测量体设置于所述上盖板及下盖板之间，所述测量体中设置有与所述上盖板以及下盖板相连接的锚点；所述测量体包括相互对称设置的质量块组；每组质量块组包括：驱动质量块、传动质量块以及检测质量块；驱动质量块设置在所述传动质量块中；传动质量块通过连接梁与检测质量块相连接；每组所述质量块组中的驱动质量块与锚点之间形成有驱动梳齿结构；一组质量块组中的检测质量块相连接的检测梳齿与另一组与所述质量块组中的检测质量块相连接的检测梳齿相互交叉
质量块检测测量体驱动质量块上盖板下盖板传动陀螺仪锚点梳齿传感器领域对称设置驱动梳齿梳齿结构连接梁

[发明专利]检测质量块及采用该检测质量块的陀螺仪-CN201410412739.3有效
发明人：裘进 -专利权人：上海矽睿科技有限公司
申请日： 2014-08-21 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明提供一种检测质量块及采用该检测质量块的陀螺仪，检测质量块包括锚点、第一质量块、第二质量块、第三质量块；所述锚点设置在所述第一质量块内，并固定在一外部基板上；所述第一质量块设置在第二质量块内，并通过在第一方向对称的第一弹性梁悬挂在所述锚点上；所述第二质量块设置在第三质量块内，并通过在第二方向对称的第二弹性梁悬挂在所述第一质量块上；所述第三质量块通过在第一方向对称的第三弹性梁悬挂在第二质量块上，并通过在第二方向对称的第四弹性梁与外部驱动质量块连接；所述第一方向与所述第二方向垂直；所述第一质量块具有第一方向的转轴，所述第二质量块具有第一方向和第二方向的转轴，所述第三质量块具有第二方向的转轴。
检测质量采用陀螺仪

[发明专利]一种陀螺仪结构-CN201711137644.5在审
发明人：裘进;郭慧芳 -专利权人：上海矽睿科技有限公司
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：一种陀螺仪结构，包括：基板；固定于基板上的锚点；围绕锚点设置的悬空于基板上的多个质量块，包括：第一质量块、第二质量块、第三质量块和第四质量块，所述多个质量块分别通过弹性连接组件连接至锚点；所述第一质量块、第二质量块在第一方向上相对设置，用于使第一质量块与第二质量块在动力驱动下沿第一方向作平移往返运动；第三质量块、第四质量块在第二方向上相对设置，第一质量块、第二质量块与第三质量块、第四质量块之间通过耦合部件连接，用于在第一质量块、第二质量块在第一方向作平移往返运动时，带动第三质量块和第四质量块在第二方向作平移往返运动，第二方向垂直于第一方向且位于同一平面内。
质量块往返运动平移基板锚点陀螺仪结构相对设置弹性连接组件动力驱动方向垂直耦合部件灵敏度陀螺仪下沿悬空

[发明专利]基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计-CN202010558196.1在审
发明人：张瑞;王旭虎 -专利权人：中北大学
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： G01P15/14 文献下载
摘要：基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计，包括：支撑框架，键合基板，扭转支撑梁，扭转质量块，谐振质量块，磁阻元件，固定刚度调节电极，可动刚度调节电极，检测磁体和驱动磁体；支撑框架设置在键合基板上，扭转质量块设置在支撑框架上开设的第一质量块安装槽内，扭转质量块通过扭转支撑梁与支撑框架连接；谐振质量块设置在扭转质量块上开设的第二质量块安装槽内，谐振质量块的四个边角通过驱动组合梁与扭转质量块连接，磁阻元件设置在谐振质量块上，谐振质量块的X轴两端设置可动刚度调节电极；键合基板上设置有固定刚度调节电极，检测磁体和驱动磁体，分别对应调节电极露出孔、磁阻元件、驱动组合梁的位置设置。
基于隧道磁阻检测静电刚度调节谐振式微加速度计

[实用新型]基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计-CN202021134339.8有效
发明人：张瑞;王旭虎 -专利权人：中北大学
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： G01P15/14 文献下载
摘要：基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计，包括：支撑框架，键合基板，扭转支撑梁，扭转质量块，谐振质量块，磁阻元件，固定刚度调节电极，可动刚度调节电极，检测磁体和驱动磁体；支撑框架设置在键合基板上，扭转质量块设置在支撑框架上开设的第一质量块安装槽内，扭转质量块通过扭转支撑梁与支撑框架连接；谐振质量块设置在扭转质量块上开设的第二质量块安装槽内，谐振质量块的四个边角通过驱动组合梁与扭转质量块连接，磁阻元件设置在谐振质量块上，谐振质量块的X轴两端设置可动刚度调节电极；键合基板上设置有固定刚度调节电极，检测磁体和驱动磁体，分别对应调节电极露出孔、磁阻元件、驱动组合梁的位置设置。
基于隧道磁阻检测静电刚度调节谐振式微加速度计

[实用新型]振动膜片-CN201220562192.1有效
发明人：高鹏;柴国强;周建明 -专利权人：苏州上声电子有限公司
申请日： 2012-10-30 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： H04R7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种振动膜片，它包括多个质量块，每个质量块具有大致相同的中心径向距离。所述质量块被分为三个或以上个阵列，每个阵列包括一个或多个质量块。每个阵列沿膜片的圆周方向延伸。每个阵列中的质量块沿膜片的圆周方向延伸。所述质量块具有弹性。所述质量块由带有内部阻尼的材料制成。所述质量块由橡胶、硅胶或泡沫橡胶制成。至少有一个质量块与固定设置在振动膜片外周上的环形卷状物相连。所述质量块粘结在该振动膜片上。
振动膜片

[发明专利]多轴传感器及其制作方法、差分的传感器系统-CN201210020324.2有效
发明人：柳连俊 -专利权人：迈尔森电子(天津)有限公司
申请日： 2012-01-29 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明提供一种多轴传感器，包括：衬底；固定于衬底之上的质量块支撑；第一传感器的第一惯性质量块以及第二传感器的第二惯性质量块位于衬底之上且与衬底分隔开，所述第一惯性质量块包围第二惯性质量块且与第二惯性质量块间具有间隔；所述质量块支撑位于所述间隔内；所述第一惯性质量块通过第一弹性结构连接至所述质量块支撑，所述第二惯性质量块通过第二弹性结构连接至所述质量块支撑。通过各自的弹性结构连接到共同的质量块支撑上，减少了质量块支撑的分布和设计，有利于简化与其他连线层电连接，减小了连线布局的面积，同时，质量块支撑可以使第一惯性质量块和第二惯性质量块在机械上实现隔离，保证了各自独立移动
传感器及其制作方法系统

[发明专利]一种利用涡振耗能的调谐质量阻尼器-CN201610134739.0有效
发明人：陈鑫;李爱群;张志强;王洪 -专利权人：苏州科技学院
申请日： 2016-03-10 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： E04B1/98 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用涡振耗能的调谐质量阻尼器，包括外壳，液缸，上质量块，下质量块，弹簧，细长弹性体和阻尼流体，所述阻尼器通过所述外壳与主结构连接，所述外壳与所述液缸连接，所述液缸内部设有所述细长弹性体，所述细长弹性体的两端分别与所述上质量块和所述下质量块连接，所述液缸内注满所述阻尼流体，所述上质量块与所述下质量块都与所述弹簧连接，所述质量块与所述下质量块统称为质量块。
一种利用耗能调谐质量阻尼

[发明专利]一体式高冲击石英微开关-CN202310649193.2有效
发明人：张照云;刘显学;杨杰;谢晋 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：基于熔石英基片一体成型的石英微开关主体，石英微开关主体包括基座、悬臂梁、质量块、下极板、下极板悬臂梁和下极板质量块。质量块通过悬臂梁连接至基座的上端，下极板连接至基座的下端，下极板质量块通过下极板悬臂梁连接至下极板。质量块上设有第一金属层，下极板质量块上设有第二金属层。其中，质量块被构造成可在惯性作用下向下极板质量块移动，当质量块上的第一金属层与下极板质量块的第二金属层未接触时，石英微开关保持断开；当质量块上的第一金属层与下极板质量块的第二金属层接触时，石英微开关导通
体式冲击石英开关

[发明专利]直线振动马达-CN201610736704.4有效
发明人：李栋;李孟昭;陈强 -专利权人：昆山联滔电子有限公司
申请日： 2016-08-26 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： H02K33/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种直线振动马达，其包括一上机壳、一下机壳、一上极片、至少一质量块、至少一磁钢、一对弹性支撑件、至少一线圈及一电路板，所述上机壳与下机壳共同围成一收容空间，所述磁钢固定于质量块上组成一振子组件，所述弹性支撑件把振子组件支撑悬空于收容空间，所述线圈向下焊接于电路板上，并且位于磁钢下方，所述质量块包含一中心质量块及位于中心质量块左右两侧的两边质量块，所述两边质量块向下凸出超过中心质量块，所述上极片激光焊接于中心质量块与两边质量块的上表面，有利于利用收容空间的有限空间，增加边质量块的重量，提升直线振动马达的振感。
直线振动马达

[发明专利]一种用于人机交互中的运动惯性追踪系统-CN201510963159.8在审
发明人：陈拥权;李建中;郑荣稳;鲁加旺 -专利权人：安徽寰智信息科技股份有限公司
申请日： 2015-12-17 - 公布日： 2016-05-18 - 主分类号： G06F3/01 文献下载
摘要：本发明公开了用于人机交互中的运动惯性追踪系统，尤其公开了一种MEMS陀螺仪，随动质量块的侧壁通过驱动弹性梁与主质量块连接；在随动质量块上还设置有X、Y轴检测质量块，X轴检测质量块位于随动质量块Y轴方向上，并通过沿Y轴方向的第一连接梁与随动质量块连接；Y轴检测质量块位于随动质量块X轴方向上，且通过沿X轴方向的第二连接梁与随动质量块连接；包括通过第三连接梁与主质量块连接的Z轴解耦质量块，Z轴检测质量块通过第四连接梁与Z轴解耦质量块连接；Z轴检测质量块通过第五连接梁连接在衬底的锚点上。本发明的MEMS三轴陀螺仪，可以将三轴陀螺仪的检测集成在单个芯片上，提高芯片的利用率，同时也提高了角速度信号检测的精度。
一种用于人机交互中的运动惯性追踪系统

[发明专利]一种MEMS三轴陀螺仪-CN201510368747.7有效
发明人：郑国光 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2015-06-29 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS三轴陀螺仪，随动质量块的侧壁通过驱动弹性梁与主质量块连接；在随动质量块上还设置有X、Y轴检测质量块，X轴检测质量块位于随动质量块Y轴方向上，并通过沿Y轴方向的第一连接梁与随动质量块连接；Y轴检测质量块位于随动质量块X轴方向上，且通过沿X轴方向的第二连接梁与随动质量块连接；包括通过第三连接梁与主质量块连接的Z轴解耦质量块，Z轴检测质量块通过第四连接梁与Z轴解耦质量块连接；Z轴检测质量块通过第五连接梁连接在衬底的锚点上本发明的MEMS三轴陀螺仪，通过上述的结构设计，可以将三轴陀螺仪的检测集成在单个芯片上，提高了芯片的利用率，同时也提高了角速度信号检测的精度。
一种 mems 陀螺仪

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